新的SPM工艺可节省75％的化学药品

Modutek最近已实施了新的SPM流程，该公司现在已从实际流程应用中获得了基准测试结果，显示出化学节约的显着改善。 新的SPM工艺需要使用Modutek的定制设计的SPM工艺湿式工作台。 Modutek在其位于加利福尼亚州圣何塞的工厂设计和组装湿式工作台和半导体制造设备，并提供完全满足其客户要求的系统。

通常，随着过氧化氢变成水并稀释浓度，SPM混合物会变质。 必须至少每八小时彻底更换一次SPM混合物。 这会导致在倒入新混合物，更换化学药品以及以环境安全的方式中和和处理腐蚀性混合物期间造成停机，并且所有这些成本都很高。 SPM清洁过程证明可以提供结果。

Modutek的“排料和进料”系统旨在长时间自动保持SPM混合物浓度。 在该系统中，有一个“干净”的水箱和一个“脏”的水箱。 可编程量的混合物从脏箱中流出，另一种可编程混合物从清洁箱自动转移到脏箱中。 为了弥补这一点，添加了适量的硫酸，并且两个储罐都装有过氧化氢以恢复并保持浓度。

Modutek的一位使用了半导体制造设备的客户现在通过使用“出血和进料” SPM工艺改进而获得了真实的结果。 结果显示出显着的改进，包括减少了以下体积：硫酸的使用，酸中和剂的使用和化学处理量。 酸试剂的使用成本也大大降低。 现在，系统耗水量已从每天3次减少到每周一次。 无需停机即可排干和重新倒入混合物，并且吞吐量也得到提高。 由于减少了操作员与危险化学品的相互作用，现在提高了安全性。

您可以阅读标题为“新的SPM流程可将化学品节省量提高75％”的完整文章，以了解有关新SPM流程的更多信息。Modutek可以回答问题或提供免费咨询。 您可以通过致电866–803–1533或发送电子邮件至[e-mail]与他们联系。